超細粉體的制備方法有很多，但從制備的原理上分主要有兩種：一種是化學合成法，一種是物理粉碎法。化學合成法是通過化學反應或物相轉換，有離子、原子、分子經過晶核形成和晶體長大而制備得到粉末，由于生產工藝復雜、成本高、而產量卻不高，所以化學合成法在制備超細粉體方面應用不廣。
物理粉碎法是通過機械力的作用，使物料粉碎。物理粉碎法相對于化學合成法，成本較低，工藝相對簡單，產量大。因此，目前制備超細粉體材料的主要方法為物料粉碎法。常用的超細粉碎設備有行星式球磨機、振動磨機、攪拌磨機以及機械沖擊粉碎機等等。
超細粉碎已并非是一個簡單的粗粒變細粒的過程，而是一個粉碎與團聚的復雜過程。一方面，機械作用導致物料顆粒的粒度減小，比表面積增大；另一方面，機械作用也導致物料顆粒的聚結，從而增大表觀粒度，減小比表面積。因此，如果從粒度或表面積來考察，可以認為超細粉碎的過程是一個粉碎——團聚的可逆過程，當這種正反兩個過程的速度相等時，便達到粉碎平衡，顆粒尺寸達到極限值。進一步延長粉碎時間時，由于這時機械力已不足以抗衡物料進一步粉碎所需的更高的斷裂強度，因此只能維持粉碎平衡，并可能導致小顆粒重聚，于是團聚現象加劇，即所謂“逆粉碎”現象出現。
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